




特種氣體存放
針對(duì)腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體,通常設(shè)計(jì)將鋼瓶置于特氣柜內(nèi),再通過管道將氣體供應(yīng)至現(xiàn)場(chǎng)附近的閥門箱,而后再進(jìn)入制程機(jī)臺(tái)的使用點(diǎn),于進(jìn)入機(jī)臺(tái)腔體之前,武漢特種氣體,會(huì)有獨(dú)立的氣體控制盤與制程控制模塊聯(lián)機(jī),以質(zhì)流流量計(jì)控制器進(jìn)行流量之控制與進(jìn)氣的混合比例控制,高純度特種氣體廠家,通常此氣體控制盤不屬于廠務(wù)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)范疇,而是歸屬制程機(jī)臺(tái)設(shè)備的一部份。一般的惰性氣體則是以開放式的氣瓶架(Gas Rack)與閥門盤進(jìn)行供應(yīng)。


CO2原料氣中包含的大量烴、硫類雜質(zhì)傳統(tǒng)精餾無法去除,特種氣體生產(chǎn)廠家,本公司經(jīng)過多年潛心研究和多項(xiàng)實(shí)驗(yàn),研發(fā)出的多元精餾添加劑打破了雜質(zhì)共沸而無法除去的技術(shù)難題,使用精餾代替粗脫硫、水解、精脫硫、脫烴、二次脫水等多種工段,較傳統(tǒng)工藝一次性投資降低 50%。用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。

特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工
輔助系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
氣體房和氣柜還須有自動(dòng)噴淋系統(tǒng),但有的氣體如三氟化氯,硅1烷遇水反應(yīng),這時(shí)就還需要考慮采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。
排風(fēng)系統(tǒng)和放空系統(tǒng)也是特氣系統(tǒng)的重要組成部分。其排風(fēng)系統(tǒng)也根據(jù)危險(xiǎn)品性質(zhì)分成普通排風(fēng)系統(tǒng)(GEX)、酸性排風(fēng)系統(tǒng)(SEX)、溶劑排風(fēng)系統(tǒng)(VEX)、氨氣排風(fēng)系統(tǒng)(AEX)。普通排風(fēng)系統(tǒng)采用鍍鋅鐵皮風(fēng)管,酸性排風(fēng)一般采用玻璃鋼風(fēng)管,溶劑和氨氣排風(fēng)一般采用不銹鋼風(fēng)管。氣柜的排風(fēng)也是根據(jù)其性質(zhì)接入上面不同的排風(fēng)系統(tǒng)。


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